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第085章 研发成功了（第2页）

这种显微镜的显示倍数至少也是1000倍规模。

只见贺老脚步匆匆，亲自将晶圆放在专门的检验仪器上。

在一旁的电子屏幕上，很快就浮现出，经过放大后，晶圆表面的情况。

一个合格的光刻机，制造出来的晶圆，表面的情况应该与他们光刻模板几乎一致。

同时至少也要保证90以上的成功率！

“贺老，这一批的晶圆效果怎么样？”

在一旁的光刻操作人员询问道。

实验室中，所有人都在等待着贺老的结果。

贺志远并没有说话，用他手不断拖动着鼠标，观察着晶圆的情况。

毕竟是精确到纳米级别的光刻机！

这一项研究对于他们而言，显然也充满了十足的挑战！

很快，他就皱起眉毛来了。

在无数研究人员的注视下，贺老平静摇了摇头。

只见他转过身来，念出了几个坐标。

“你们注意一下142，64还有7，69这两个坐标。”

“这两个坐标的附近，几乎都有3-4纳米的误差！”

他从仪器中，取出了检验的晶圆平静的说道。

“这么高的误差，表示我们依旧无法生产10纳米以下的芯片！”

“距离目前世界上高精度芯片还有着相当的距离。”

围绕在一旁的研究人员，以及专家无不底下头来。

话虽然是这么说，可对比起他们之前的光刻机技术已经成长了许多了。

尽管成功率不算高，在此之前也已经制造出几片5纳米规格的芯片。

贺老平静的说道。

“另外，我在这里宣布一个好消息，以及一个坏消息。”

贺志远的声音，让众人再度抬起头来。

这种说话语气，可不像是贺老啊。

不过，光电研究团队，还是流露出好奇。

“贺老，您说！”

贺志远点了点头，平静的说道。

“目前，其实我们的曝光系统其实已经基本没有问题。“

“脉冲冷激光经过反射后，完全能够用于光刻。”

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